螺杆式真空泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。
螺杆式真空泵的应用
螺杆式真空泵不仅适应性广泛,三木森节能真空泵优点,可以在---条件下抽气,同时可以达到较高真空度(0.1~1pa)。因此,随着半导体、石化行业的快速发展,螺杆式真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、化工领域,如半导体行业的气相沉积、蚀刻,化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。
。螺杆的各级间可形成压力梯度,以分散压差和提高压缩比,各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时,三木森节能真空泵报价,要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境等。干式螺杆真空泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。三木森节能真空泵
干式螺杆真空泵的优点
干式螺杆真空泵在工作时,相互之间无磨擦,运转相对平稳,噪音比较低,工作腔不需润滑油,因此,干式螺杆真空泵工作能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,三木森节能真空泵好不---,---真空度更高,重庆三木森节能真空泵,消耗功率比较低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的升级版产品。三木森节能真空泵
因螺杆真空泵无需油润滑或水密封,泵腔内完全无油,因此螺杆真空泵是无油干式真空泵,在半导体、电子工业中要求无油洁净的场合以及化工制药中对溶剂的回收工艺等具有的---性,可较好地替代旋片式真空泵、滑阀式真空泵使用。
螺杆真空泵的一个导程相当于一级泵,多个导程的螺杆真空泵相当于多级泵串联,相对于爪式真空泵、多级罗茨真空泵等多级串联的干式真空泵而言,因螺杆真空泵的各级泵之间无内部通道,而是直接将气体从吸气侧推送至排气侧,因此在抽除可凝性气体、带有粉尘及颗粒物的气体时不易堵塞且清洗方便。
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