罗茨真空泵应用领域
低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺;
半导体刻蚀、包装印刷;
化学工业、yi药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡等,防止的污染;
用作一般无油清洁真空系统的前级泵,罗茨真空泵供应,以防止油污染。
干式真空泵应用范围比较广泛,操作的过程中还能够带来很多优势,这一点---,罗茨真空泵公司,只是我们在使用设备的时候,还应该随时预防着设备会不会出现其他问题,比如干式螺杆真空泵与物料产生摩擦。
无油螺杆节能真空泵的排气过程,齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。罗茨真空泵
螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产plasma的cvd制程。
螺杆式干式真空泵零部件少,罗茨真空泵,没有易损件,因此它运转---,---。
操作维护方便。
螺杆式真空泵主要结构
上图可见,罗茨真空泵优,螺杆式真空泵在结构上比较简单。形式上,螺杆式真空泵有卧式和立式之分;依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵;单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同,可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵,变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。
螺杆式真空泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。
罗茨真空泵
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