









螺杆式真空泵通过一对非对称螺杆转子的相向运动,来周期性改变齿间容积实现输送气体,达到抽气的目的。它具有以下特点:
1、清洁无油,多相混输,适应性广泛。螺杆式真空泵转子间存在严格间隙,泵腔内无油,可抽除腐蚀性气体、有毒及含粉尘、可凝性蒸气等复杂气体。
2、结构简单,动平衡好,---性高。螺杆式真空泵零部件少,部件无易损件,也无不平衡惯性力,运转---,---。
3、因结构简单,零部件少,所以操作、维修维护简便。
4、强制输气,中山无油真空泵,可以在宽压力范围内---较大抽速,排气量几乎不受排气压力影响。
无油真空泵
因为螺杆真空泵在油汽收回工艺进程中,无油真空泵优点,被冷凝的会堆集在泵的排气口处,这种积液现象会形成泵的反常振荡和噪声,无油真空泵优,因而必须及时排出,为此能够采纳下列三种---办法。
泵的排气管向下倾斜,排气管道方位低于泵的排气口方位。
在泵的排气口或位处,设备一台循环泵以消除积液现象。
在泵的排气口处设备单向阀,以避免泵在中止运转时因为虹吸现象形成冷凝液倒流入泵腔内。
无油真空泵
螺杆式真空泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后,即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小,无油真空泵---,具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。
螺杆式真空泵的应用
螺杆式真空泵不仅适应性广泛,可以在---条件下抽气,同时可以达到较高真空度(0.1~1pa)。因此,随着半导体、石化行业的快速发展,螺杆式真空泵作为一种理想干泵也开始广泛应用于电子半导体、化工领域,如半导体行业的气相沉积、蚀刻,化工行业的蒸馏干燥、中间体、溶剂回收、油气回收等。

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