东莞节能真空泵厂-三木森自动化设备厂家-东莞节能真空泵厂在哪

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半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，而欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，---提高了产品的性能和。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。

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真空泵的特点：优点：1、结构简单，制造精度要求不高，容易加工。2、结构紧凑，泵的转数较高，一般可与电动机直联，无须减速装置。故用小的结构尺寸，可以获得大的排气量，占地面积也小。3、压缩气体基本上是等温的，即压缩气体过程温度变化很小。4、由于泵腔内没有金属磨擦表面，无须对泵内进行润滑，而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。5、吸气均匀，工作平稳---，操作简单，维修方便。