无油螺杆节能真空泵的排气过程，齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。三木森真空泵优势

螺杆式干式真空泵广泛应用于电子、核能、化工、、食品工业等领域。在半导体工业中用于生产芯片、制造液晶显示器、蚀刻、生产plasma的cvd制程。

螺杆式干式真空泵零部件少，没有易损件，因此它运转---，---。

操作维护方便。

螺杆在机筒内滚动，物料与二者的摩擦，使螺杆与机筒的工作表面逐渐磨损：

1、螺杆直径逐渐缩小，机筒的内孔直径逐渐加大，这样螺杆与机筒的合作直径间隙，随着二者的逐渐磨损而一点点加大。

2、因为机筒前面机头和分流板的阻力没有改变，这就增加了被挤塑物料前进时的漏流量，即物料从直径间隙处向进料方向流动量增加。

3、效果使塑胶机械生产量下降，这种现象又使物料在机筒内停留时间增加，构成物料分解，假设是聚乙烯，分解发作的气体加强了对螺杆和机筒的腐蚀。

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螺杆式真空泵主要结构

上图可见，螺杆式真空泵在结构上比较简单。形式上，螺杆式真空泵有卧式和立式之分；依据螺杆转子型线的不同又可分为单头螺杆式真空泵与多头螺杆式真空泵；单头螺杆式真空泵根据转子螺距的不同，可分为等螺距螺杆式真空泵与变螺距螺杆式真空泵，变螺距中又可细分为一段式、两段式、三段式等。

螺杆式真空泵的排气过程。齿间容积与排气孔口连通后，即开始排气过程。随着齿间容积的不断缩小，具有排气压力的气体逐渐通过排气孔口被排出。